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发明名称 Säurekatalysierte Positiv-Photoresists
摘要
申请公布号 DE69621701(D1) 申请公布日期 2002.07.18
申请号 DE19966021701 申请日期 1996.03.15
申请人 SHIPLEY CO., L.L.C. 发明人 THACKERAY, JAMES W.;SINTA, ROGER F.;DENISON, MARK D.;ABLAZA, SHERI L.
分类号 G03F7/004;G03F7/033;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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