发明名称
摘要
申请公布号 JP3405364(B2) 申请公布日期 2003.05.12
申请号 JP19940021205 申请日期 1994.02.18
申请人 发明人
分类号 H01L27/06;G02F1/1362;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/86;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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