光学零件之检查方法及检查装置

摘要

提供能以高精确度地评价光学零件之性能的检查方法。所述检查方法从通过光学零件之光形成具有不同相位之第1与第2光，并使第1光与第2光干涉而形成干涉区域。于干涉区域设定三直线而在各直线上求得光强度分布。又，求得对应最大光强度的频率。而且，从就直线分别求得之多数频率而求得近似直线或近似曲线。以经近似之直线或曲线的因数为基准而评价光学零件的收差。