工作杆式热处理装置(二)

摘要

本发明之目的在于提供一种可适当地防止藉第一杆及第二杆之共同动作而运送之基板产生蛇行、偏移或脱落等之工作杆式热处理装置。根据本实施例之工作杆式热处理装置，由于在位于用以共同动作以运送共同基板之固定杆(第一杆)及可动杆(第二杆)之外侧的固定杆上具有横向引导突起，且前述横向引导突起可与由前述固定杆所支持之基板之边缘卡合，以引导前述基板，因此可适当地防止藉固定杆及可动杆之共同动作而运送之基板产生蛇行、偏移或脱落等。