基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法

摘要

本发明提供基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法。基板保持件以架状保持多张基板，为了对这些基板进行热处理而被搬入到立式热处理炉内，该基板保持件包括能够相互分割地合体的第一保持件部分和第二保持件部分，第一保持件部分和第二保持件部分分别具备：相互上下对置的顶板和底板；支柱，其沿着顶板和底板各自的周缘部而设置有多个，将该顶板与底板相互连结；保持部，其设置在多个支柱各自之中相互对应的位置，用于保持各基板的下表面，第一保持件部分和第二保持件部分各自的保持部以如下方式设定高度位置，即：在第一保持件部分和第二保持件部分相互合体时，使得保持于第一保持件部分的基板和保持于第二保持件部分的基板交替地排列。

主权项

一种立式热处理装置，该立式热处理装置利用升降机构将以架状保持有多张基板的基板保持件搬入到立式热处理炉内，对基板进行热处理，该立式热处理装置的特征在于，具备：基板保持件，该基板保持件包括能够相互分割地合体的第一保持件部分和第二保持件部分；第一载置部以及第二载置部，它们用于分别载置所述第一保持件部分以及所述第二保持件部分；合体机构，该合体机构包括：使所述第一载置部以及所述第二载置部沿着直线相互相对地接触分离的机构、和改变所述第一载置部以及所述第二载置部各自绕垂直轴的方向的机构，用于使载置于所述第一载置部的第一保持件部分和载置于所述第二载置部的第二保持件部分相互合体；结合机构，该结合机构跨越安装于相互合体后的所述第一保持件部分以及所述第二保持件部分，由此对使两方的保持件部分相互结合的结合部件进行保持，并用于使该结合部件相对于所述第一保持件部分以及所述第二保持件部分进行拆装；基板转移机构，该基板转移机构在所述第一载置部以及所述第二载置部相互分离的状态下，相对于所述第一载置部以及所述第二载置部分别进行基板的转移；以及保持件转移机构，该保持件转移机构用于使所述第一保持件部分与所述第二保持件部分合体后的所述基板保持件，在所述第一载置部以及所述第二载置部之间转移，所述第一保持件部分和所述第二保持件部分各自具备：相互上下对置的顶板和底板；支柱，该支柱沿着所述顶板和所述底板各自的周缘部而设置有多个，将该顶板与底板相互连结；以及保持部，该保持部设置在所述多个支柱的各自之中相互对应的位置，用于保持各基板的下表面，所述第一保持件部分和所述第二保持件部分各自的保持部以如下方式设定高度位置，即：在该第一保持件部分和第二保持件部分相互合体后，使得保持于第一保持件部分的基板和保持于第二保持件部分的基板交替地排列。