| 发明名称 |
PREPARATION OF LANTHANIDE-CONTAINING PRECURSORS AND DEPOSITION OF LANTHANIDE-CONTAINING FILMS |
| 摘要 |
본원에는 희토류 금속 함유 층을 증착하기 위한 방법 및 조성물이 기술되어 있다. 일반적으로, 개시된 방법은 증착 방법, 예를 들어 화학 기상 증착법 또는 원자층 증착법을 사용하여 희토류 함유 화합물을 포함하는 전구체 화합물을 증착한다. 개시된 전구체 화합물은 치환기로서 1종 이상의 지방족 기를 갖는 시클로펜타디에닐 리간드 및 아미딘 리간드를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160085357(A) |
申请公布日期 |
2016.07.15 |
| 申请号 |
KR20167017173 |
申请日期 |
2009.06.05 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
PALLEM VENKATESWARA R.;DUSSARRAT CHRISTIAN |
| 分类号 |
C23C16/18;C07C257/14;C07F17/00;C23C16/40;C23C16/455;H01L21/02 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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