| 摘要 |
제거 가능한 인터페이스들 및 관련된 조립체들을 갖는 유전체 도관 조립체들을 채용하는 플라즈마 생성 소스, 및 방법들이 개시된다. 플라즈마 생성 소스(PGS)는, 각각, 플라즈마의 생성을 위한 전구체 가스를 수용하기 위한 그리고 플라즈마를 방출하기 위한 입력 및 출력 포트들을 갖는 내부 챔버를 형성하는 다수의 내부 표면들을 갖는 엔클로져 본체를 포함한다. 유전체 도관 조립체는, 가스 및 플라즈마를, 미립자들이 생성될 수 있는 내부 표면으로부터 떨어져서 안내할 수 있다. 유전체 도관 조립체는 제 1 및 제 2 크로스-도관 세그먼트들을 포함한다. 유전체 도관 조립체는, 갭들을 남겨두지 않고, 제 2 크로스-도관 세그먼트로부터, 제 1 크로스-도관 세그먼트의 제 1 크로스-도관 인터페이스들과 제거 가능하게 정렬되는 말단부들로 연장되는 평행한 도관 세그먼트들을 더 포함한다. 이러한 방식으로, 유전체 도관 조립체는 쉽게 서비싱되고, 미립자 생성을 감소시키며, 미립자 생성을 출력 포트로부터 멀리 방지한다. |
