| 发明名称 |
VAPOUR DEPOSITION METHOD FOR PREPARING CRYSTALLINE LITHIUM-CONTAINING COMPOUNDS |
| 摘要 |
결정질 리튬-함유 전이 금속 산화물 화합물을 준비하기 위한 기상 증착 방법은 적어도 리튬 소스, 산소 소스, 및 하나 또는 그 초과의 전이 금속들의 소스 또는 소스들을 포함하는, 상기 화합물의 각각의 컴포넌트 엘리먼트의 다양한 소스를 제공하는 단계; 기판을 실질적으로 150℃와 실질적으로 450℃ 사이로 가열하는 단계; 및 기상 소스들로부터의 컴포넌트 엘리먼트들을 가열된 기판상에 동시-증착하는 단계를 포함하고, 컴포넌트 엘리먼트들은 결정질 화합물을 형성하기 위하여 기판상에서 반응한다. |
| 申请公布号 |
KR20160106126(A) |
申请公布日期 |
2016.09.09 |
| 申请号 |
KR20167021325 |
申请日期 |
2015.01.07 |
| 申请人 |
ILIKA TECHNOLOGIES LIMITED |
发明人 |
SMITH DUNCAN CLIFFORD ALAN;HAYDEN BRIAN ELLIOTT;PERKINS LAURA MARY;LEE CHRISTOPHER EDWARD;ANASTASOPOULOS ALEXANDROS;HUTCHINGS KYLE JAMES;YAKOVLEV SERGEY |
| 分类号 |
C23C14/00;C03C4/18;C23C14/08;C23C14/54;H01B1/02;H01B5/14;H01M4/04;H01M4/1391;H01M10/058 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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