发明名称 |
METHOD OF VACUUM VAPOR DEPOSITING A MATERIAL ON A SUBSTRATE INCLUDING RECONSTITUTION OF DECOMPOSED PORTIONS OF THE MATERIAL |
摘要 |
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申请公布号 |
US3492152(A) |
申请公布日期 |
1970.01.27 |
申请号 |
USD3492152 |
申请日期 |
1967.01.30 |
申请人 |
GENERAL DYNAMICS CORP. |
发明人 |
FRANK E. CARIOU;MARIA M. GAJARY |
分类号 |
C23C14/32;H01J37/305;H01J37/317;(IPC1-7):C23C11/00;B44D1/48 |
主分类号 |
C23C14/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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