发明名称
摘要
申请公布号 JPS4612653(Y1) 申请公布日期 1971.05.06
申请号 JP19680007184U 申请日期 1968.02.03
申请人 发明人
分类号 (IPC1-7):C01B33/02;B01J17/32;C23C11/00;H01L21/20 主分类号 (IPC1-7):C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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