发明名称 INSPECTION METHOD OF SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS51132778(A) 申请公布日期 1976.11.18
申请号 JP19750056108 申请日期 1975.05.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITOU MITSUO;MURAO KANAE
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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