发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'AVIS D'ISOLEMENT ENTRE DES DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS ET DISPOSITIFS AINSI OBTENUS
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR.</P><P>SELON L'INVENTION, IL COMPREND UN SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR 11, UNE PELLICULE ISOLANTE 13 FORMEE A LA SURFACE DU SUBSTRAT, UNE COUCHE COMPOSEE ISOLANTE ET ENFOUIE 15 A UNE PROFONDEUR PREDETERMINEE DE L'AUTRE SURFACE 12 DU SUBSTRAT, LA COUCHE 15 ETANT FORMEE PAR IMPLANTATION D'IONS A TRAVERS LA SURFACE 12, ET DES ELEMENTS SEMI-CONDUCTEURS COMPRENANT UNE COUCHE DU SUBSTRAT ENTRE LA COUCHE COMPOSEE ISOLANTE ENFOUIE ET LA SURFACE 12, LA PELLICULE ISOLANTE 13 FORMEE A LA SURFACE DU SUBSTRAT AYANT UNE EPAISSEUR SUFFISANTE POUR COMPENSER LA CONTRAINTE INDUITE DANS LA COUCHE COMPOSEE ISOLANTE ENFOUIE.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT A LA FABRICATION DE TRANSISTORS MOS OU BIPOLAIRES.</P>
申请公布号 FR2410364(A1) 申请公布日期 1979.06.22
申请号 FR19780006167 申请日期 1978.03.03
申请人 NIPPON TELEGRAPH TELEPHONE PUBLI 发明人
分类号 H01L27/00;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/73;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/84;H01L21/76 主分类号 H01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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