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<P>ACCELEROMETRE DIRECTIF ET SON PROCEDE DE FABRICATION PAR MICROLITHOGRAPHIE.</P><P>CET ACCELEROMETRE COMPREND UN SUBSTRAT 12 COMPORTANT AU MOINS UN EVIDEMENT 14 DEFINISSANT AU MOINS UNE POUTRE 16 DANS LE SUBSTRAT 12 DONT L'UNE DES EXTREMITES 16A EST SOLIDAIRE DU RESTE DU SUBSTRAT, LADITE POUTRE 16, ORIENTEE SUIVANT UNE PREMIERE DIRECTION Y, ETANT APTE A SE DEFORMER DANS LEDIT EVIDEMENT 14 SUIVANT UNE SEULE DIRECTION, DITE DEUXIEME DIRECTION X, PARALLELE A LA SURFACE DU SUBSTRAT ET PERPENDICULAIRE A LA PREMIERE DIRECTION Y, LADITE DEUXIEME DIRECTION CORRESPONDANT A LA COMPOSANTE DE L'ACCELERATION A MESURER, ET DES CONTACTS ET CONNEXIONS ELECTRIQUES, REALISES SUR LE SUBSTRAT, SERVANT A CONNECTER DES MOYENS DE MESURE 17, 24 DES DEFORMATIONS DE LADITE POUTRE, CES MESURES PERMETTANT DE DETERMINER LADITE COMPOSANTE DE L'ACCELERATION.</P> |
