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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS6318636(A)
申请公布日期
1988.01.26
申请号
JP19860163040
申请日期
1986.07.11
申请人
NEC CORP
发明人
SUZUKI TAKAMASA
分类号
H01L21/66;G01R31/28;G01R31/316;G01R31/319;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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