| 摘要 |
以简单之处理电路，取得温度变化所造成之影响小且精度高之位置检测讯号。藉由以一定速度使两个物体变位而所取得之数位资料，在位置资料算出部(2)运算位置资料θ0。在误差补正用参数取得部(4)将位置资料θ0予以编码化，储存于第1记忆部(5)。再者，将感测温度资讯及相对于温度变化的被编码化之资料储存于第3记忆部(9)。含有误差位置资料作成部(6)是读出补正系数，予以解码化。位置温度变化补正部(10)是运算补正位置资料θ0之温度变化部份的位置资料θ1。误差补正位置表作成部(7)是作成解码化之资料和理想位置资料之补正表，储存于第2记忆部(8)。误差补正部(11)是读取位置资料θ1，在该位置资料参照补正表，输出被补正之位置资料θ。 |
