发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01246132(A) 申请公布日期 1989.10.02
申请号 JP19880072470 申请日期 1988.03.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HAYASHI SHIGENORI;KAMATA TAKESHI;SETSUNE KENTARO;HIRAO TAKASHI;WASA KIYOTAKA
分类号 C04B41/87;C01G1/00;C01G3/00;C01G29/00;C23C16/30;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/02;H01L39/24 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
地址