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发明名称 METHOD AND APPARATUS OF TREATING PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 EP0283668(B1) 申请公布日期 1991.03.13
申请号 EP19880101173 申请日期 1988.01.27
申请人 USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 SUZUKI, SHINJI C/O USHIO DENKI;ARAI, TETSUJI C/O USHIO DENKI;UEKI, KAZUYOSHI C/O USHIO DENKI;MIMURA, YOSHIKI C/O USHIO DENKI;SUZUKI, HIROKO C/O USHIO DENKI
分类号 G03F7/40;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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