| 发明名称 |
BLANKING APERTURE ARRAY, MANUFACTURE THEREOF AND APPARATUS AND METHOD FOR CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03174715(A) |
申请公布日期 |
1991.07.29 |
| 申请号 |
JP19900124636 |
申请日期 |
1990.05.15 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SAKAMOTO JUICHI;FUEKI SHUNSUKE;TAKAHASHI YASUSHI;YASUDA HIROSHI |
| 分类号 |
H01J37/09;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J37/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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