发明名称 ORGANOSILVER COMPOUND FOR SILVER THIN FILM FORMATION BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF HIGH-VAPOR PRESSURE ORGANOMETAL
摘要
申请公布号 JPH0853470(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940188348 申请日期 1994.08.10
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 SAI ATSUSHI;UCHIDA HIROTO;SATO MASAMITSU;OGI KATSUMI
分类号 C07F7/08;C07F19/00;C23C16/18;(IPC1-7):C07F7/08 主分类号 C07F7/08
代理机构 代理人
主权项
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