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经营范围
发明名称
Ellipsometric microscope
摘要
申请公布号
AU5367696(A)
申请公布日期
1996.10.08
申请号
AU19960053676
申请日期
1996.03.20
申请人
KANSAS STATE UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION
发明人
BRUCE M LAW
分类号
G01B11/06;G01J4/04;G01N21/21
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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