发明名称 Ellipsometric microscope
摘要
申请公布号 AU5367696(A) 申请公布日期 1996.10.08
申请号 AU19960053676 申请日期 1996.03.20
申请人 KANSAS STATE UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION 发明人 BRUCE M LAW
分类号 G01B11/06;G01J4/04;G01N21/21 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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