| 发明名称 |
ALIGNING SYSTEM USING CCD CAMERA FOR LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0174486(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.01 |
| 申请号 |
KR19950032437 |
申请日期 |
1995.09.28 |
| 申请人 |
SAMSUNG AEROSPACE INDUSTRIES LTD. |
发明人 |
KIM, SANG-CHUL |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L27/146;(IPC1-7):H01L27/146 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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