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发明名称 Processing method and apparatus for removing oxide film
摘要
申请公布号 EP0887845(A3) 申请公布日期 1999.03.03
申请号 EP19980109891 申请日期 1998.05.29
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KOBAYASHI, YASUO
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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