发明名称 |
透明导电性膜 |
摘要 |
提供结晶性优良,比电阻小的透明导电性膜。本发明的透明导电性膜(1),包含:膜基材(2)、和在该膜基材上形成的铟锡氧化物的多晶层(3)。多晶层(3),在厚度方向具有氧化锡的浓度梯度,多晶层(3)的厚度方向的氧化锡浓度的最大值为6重量%~12重量%。此外,多晶层(3)的总厚度为10nm~35nm,构成多晶层(3)的晶粒的最大尺寸的平均值为380nm~730nm。 |
申请公布号 |
CN103839607B |
申请公布日期 |
2016.06.22 |
申请号 |
CN201310597960.6 |
申请日期 |
2013.11.22 |
申请人 |
日东电工株式会社 |
发明人 |
竹安智宏;山本祐辅;金谷实;佐佐和明 |
分类号 |
H01B5/14(2006.01)I;H01B1/08(2006.01)I;G06F3/044(2006.01)N |
主分类号 |
H01B5/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种透明导电性膜,具有膜基材、和在该膜基材上形成的铟锡氧化物的多晶层,其特征在于,所述多晶层,在厚度方向具有氧化锡的浓度梯度,所述多晶层的厚度方向的氧化锡浓度的最大值为6重量%~12重量%,所述多晶层的厚度为10nm~35nm,构成所述多晶层的晶粒的最大尺寸的平均值为380nm~730nm。 |
地址 |
日本大阪府 |