| 摘要 |
1. Устройство модуляции для использования в системе (100) литографии пучком заряженных частиц, выполненной с возможностью генерирования элементарных пучков (123) заряженных частиц, причем устройство модуляции выполнено для модуляции элементарных пучков заряженных частиц в соответствии с данными рисунка и содержит:- пластинчатый корпус (106);- решетку дефлекторов (30) элементарных пучков, размещенных на пластинчатом корпусе (106) для отклонения элементарных пучков;- множество выводов (202-205) источника питания для подачи по меньшей мере двух различных напряжений;- множество схем (40, 41) управления, размещенных на пластинчатом корпусе (106) для приема данных рисунка и подачи соответствующих сигналов управления в дефлекторы (30) элементарных пучков, причем питание схем (40, 41) управления выполняется с помощью множества выводов (202-205) источника питания; ипроводящую пластину (201), выполненную с возможностью подачи электрической мощности на один или более выводов (202-205) источника питания,причем корпус устройства модуляции разделен на удлиненную зону (51) действия пучков и удлиненную зону (52) отсутствия действия пучков, расположенную рядом с зоной (51) действия пучков таким образом, чтобы длинный край зоны (51) действия пучков граничил с длинным краем смежной зоны (52) отсутствия действия пучков,причем дефлекторы элементарных пучков размещены в зоне (51) действия пучков,причем схемы (40, 41) управления расположены в зоне (52) отсутствия действия пучков для подачи сигналов управления на дефлекторы (30) элементарных пучков; ипричем проводящая пластина (201) подсоединена к одному или более выводам источника питания в зоне (52) отсутствия действия пучков, причем проводящая пластина (201) содержит множество тонких проводя |
