发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterkoerpers fuer integrierte Halbleiterschaltungen
摘要
申请公布号 DE1298636(B) 申请公布日期 1969.07.03
申请号 DE1965P037912 申请日期 1965.10.19
申请人 PHILCO-FORD CORP. 发明人 SCHNABLE;LUTHER DR. GEORGE
分类号 H01L21/00;H01L21/762 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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