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发明名称 METHOD OF FORMING THIN FILM RESISTORS BY CATHODIC SPUTTERING
摘要
申请公布号 US3477935(A) 申请公布日期 1969.11.11
申请号 USD3477935 申请日期 1966.06.07
申请人 UNION CARBIDE CORP. 发明人 JOHN H. HALL
分类号 C23C14/34;H01C17/12;H01J37/34;H01L21/00;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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