发明名称 FABRICATION OF A SILICON-SILICON DIOXIDE INTERFACE OF PREDETERMINED SPACE CHARGE POLARITY
摘要
申请公布号 US3698948(A) 申请公布日期 1972.10.17
申请号 USD3698948 申请日期 1968.07.26
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 FRANK J. BARONE;DONALD L. TOLLIVER
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L29/00;H01L29/06;(IPC1-7):H01L7/00;C23C11/08 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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