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发明名称 VORRICHTUNG ZUM VEREINZELN VON HALBLEITERKOERPERN
摘要
申请公布号 DD131104(A1) 申请公布日期 1978.05.31
申请号 DD19760195223 申请日期 1976.10.12
申请人 AUGSTEN,JOSEF,DD;MAURER,RICHARD,DD;MOHR,ULRICH,DD;OHMANN,HEINZ,DD;SAUER,JOERG,DD;SPICKERMANN,KURT,DD;WALLER,DIETER,DD 发明人 AUGSTEN,JOSEF,DD;MAURER,RICHARD,DD;MOHR,ULRICH,DD;OHMANN,HEINZ,DD;SAUER,JOERG,DD;SPICKERMANN,KURT,DD;WALLER,DIETER,DD
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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