| 发明名称 |
DISPOSITIF POUR DEPOSER EN REGIME CONTINU UNE COUCHE DE SILICIUM POLYCRISTALLIN SUR UN RUBAN DE CARBONE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2556109(B2) |
申请公布日期 |
1986.09.12 |
| 申请号 |
FR19830019212 |
申请日期 |
1983.12.01 |
| 申请人 |
CIE GENERALE D ELECTRICITE |
发明人 |
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| 分类号 |
B05C3/12;C30B15/00;H01L31/0368;H01L31/18 |
主分类号 |
B05C3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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