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发明名称 VORRICHTUNG ZUM BILDEN EINER DUENNENSCHICHT
摘要
申请公布号 DE4005796(A1) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 DE19904005796 申请日期 1990.02.23
申请人 MIKOSHIBA, NOBUO;TSUBOUCHI, KAZUO, SENDAI, MIYAGI, JP 发明人 MIKOSHIBA, NOBUO;TSUBOUCHI, KAZUO, SENDAI, MIYAGI, JP
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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