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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DUENNEN HOMOGENEN AUFTRAGSSCHICHTEN AUS OXIDISCHEN MATERIALIEN
摘要
申请公布号 DD295148(A5) 申请公布日期 1991.10.24
申请号 DD19900341521 申请日期 1990.06.11
申请人 BERGAKADEMIE FREIBERG DIREKTORAT FUER FORSCHUNG,DD 发明人 WEINER,HEIKO,DD;GARTNER,ANNE-HEIDE,DD;REETZ,TEJA,DD;SCHOENHERR,SIEGFRIED,DD
分类号 C23C18/12;(IPC1-7):C04B35/50;C04B35/46;C04B35/48;C04B35/64;H01L39/00;H01B12/06 主分类号 C23C18/12
代理机构 代理人
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