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发明名称 PHOTOLACKZUSAMMENSETZUNG.
摘要
申请公布号 DE3382401(D1) 申请公布日期 1991.10.10
申请号 DE19833382401 申请日期 1983.05.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 ITO, HIROSHI, SAN JOSE CALIFORNIA 95139, US;WILLSON, CARLTON GRANT, SAN JOSE CALIFORNIA 95126, US;FRECHET, JEAN M. J., OTTAWA, K1V6Y7, CA
分类号 C08K5/00;C08F8/00;C08L33/00;C08L33/02;G03F7/004;G03F7/021;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16;G03F7/029 主分类号 C08K5/00
代理机构 代理人
主权项
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