| 主权项 |
1﹒一种将一入射光之光束周期性转向一角度之方法,包含下列步骤:将一光束自一镜反射,该镜由至少二支撑元件所垂吊,至少该二支撑元件之一自镜之边缘移开,该二元件形成一旋转轴线;以及周期性施加一电压至一第一电极,以导使该镜绕旋转轴线旋转,该第一电极在第一方向自旋转轴线向外移开。2﹒根据申请专利范围第1项之方法,另包含周期性施加一电压室一第二电极之步骤,此第二电极在第二方向自旋转轴线向外移开,第一方向大致相反于第二方向。3﹒根据申请专利范围第2项之方法,其中周期性施加电压至第一及第二电极之步骤另包含以一频率等于镜之共振频率过期性施加电压之步骤。4﹒根据申请专利范围第1项之方法,其中周期性施加电压至第一电极之步骤另包含以一频率等于镜之共振频率周期性施加电压之步骤。5﹒一种将一入射光之光束周期性转向一角度之方法,包含下列步骤:将一光束自一镜反射,该镜由至少二支撑元件所垂吊,至少该二支撑元件之一自镜之边缘移开,该二元件形成一旋转轴线;以及周期性施加一电压至一第一电极,以导使该镜绕旋转轴线旋转,该第一电极在第一方向自旋转轴线向外移非,该电压有一频率等于镜之共振频率。6﹒一种将一入射光之光束周期性转向一角度之方法,包含下列步骤:将一光束自一镜反射,该镜由至少二支撑元件所垂吊,至少该二支撑元件之一自镜之边缘移开,该二元件形成一旋转轴线;周期性施加一电压至一第一电极,以导使该镜绕旋转轴线旋转,该第一电极在第一方向自旋转轴线向外移开,该电压有一频率等于镜之共振频率;以及周期性施加一电压至一在第二方向自旋转轴线向外移开之第二电极,第一方向大致相反于第二方向,该电压有一频率等于镜之共振频率。7﹒一种光转向装置包含:一基片有一顶面;一可偏转镜元件,大致与该顶面在同一平面;以及至少二支撑元件,用以在基片上面垂吊镜元件,该二支撑元件界定一旋转轴线,至少该二支撑元件之一自镜之边缘移开。8﹒根据申请专利范围第7项之光转向装置,另包含至少一在第一方向自旋转轴线向外移品之第一电极,供于第一电极电连接至第一电压源及镜电连接至第二电压源时,过期性导使该镜绕旋转轴线旋转。9﹒根据申请专利范围第8项之光转向装置,另包含一与镜元件在相同电势之止挡,该止挡自第一电极向外移非,因而上述镜元件在着陆于第一电极前,先着陆于该止挡10﹒根据申请专利范围第8项之光转向装置,,另包含一在第二方向自旋转轴线向外移开之第二电极,该第二方向大致相反于第一方向,该第二电极于第二电极连接至一第三电压源时,周期性导使该镜绕旋转轴线旋转。11﹒一种光转向装置包含:一基片有一顶面;一静电可偏转镜元件;至少二支撑元件,用以在基片上面垂吊镜元件,该二支撑元件界定一旋转轴线,至少该二支撑元件之一自镜之边缘移开;至少二自旋转轴线向外移弗之电极,用以根据输入之信号使镜元件绕旋转轴线旋转,第一电极在第一方向移开,第二电极在第二方向移开,第一及第二方向大致为彼此相反;以及至少二止挡在第一及第二电极向外移开,因而使镜元件在着陆于第一或第二电极前,先着陆于止挡。图示简单说明:图1以透视方式示所揭示之本发明之第一实施例;图2以透视方式示图1中所示之镜元件;图3及4示图2中所示之镜元件分别沿3-3线及4-4线之剖面图;图5a至5f示图2中所示之镜元件在制造时之顺序步骤之剖面图;图6以透视方式示本发明之第二实施例;图7示图6中所示本发明第二实施例沿7-7线之剖面图;图8以透视方式示本发明之第三实施例;以及图9示图8中所示本发明第三实施例沿9-9线之剖面图。 |
