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经营范围
发明名称
MULTIFUNCTIONAL PHOTOLITHOGRAPHIC COMPOSITIONS
摘要
申请公布号
EP0436639(B1)
申请公布日期
1998.01.14
申请号
EP19890911422
申请日期
1989.09.25
申请人
BREWER SCIENCE, INC.
发明人
LAMB, JAMES, E., III;BREWER, TERRY;MORI, J., MICHAEL
分类号
G03F7/004;G03F7/039;G03F7/085;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
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