发明名称 MULTIFUNCTIONAL PHOTOLITHOGRAPHIC COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 EP0436639(B1) 申请公布日期 1998.01.14
申请号 EP19890911422 申请日期 1989.09.25
申请人 BREWER SCIENCE, INC. 发明人 LAMB, JAMES, E., III;BREWER, TERRY;MORI, J., MICHAEL
分类号 G03F7/004;G03F7/039;G03F7/085;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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