| 发明名称 |
PACKAGE SUBSTRATE INSPECTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11153647(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
| 申请号 |
JP19970317993 |
申请日期 |
1997.11.19 |
| 申请人 |
NHK SPRING CO LTD |
发明人 |
ISHIKAWA SHIGEKI;YAMADA YOSHIO;MINAISHI KENJI |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R1/073;G01R31/02;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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