Herstellverfahren für mikromechanische Bauelemente

摘要

Ätzöffnungen sind in einer Membran (7) über einem ausgeätzten Hohlraum (8) nur höchstens ein Zehntel des Durchmessers der Membran von dem Rand des Hohlraumes entfernt vorhanden. Zur Herstellung wird auf einer Opferschicht (2) aus SiO¶2¶ eine Polyschicht (30) aufgebracht und mit Reihen von Ätzlöchern versehen, durch die Kanäle in der Opferschicht ausgeätzt werden. Die Polyschicht wird oxidiert und mit einer Planarisierungsschicht (6) eingeebnet. In dem Randbereich der Membranschicht werden Ätzlöcher (9) hergestellt. Die Opferschicht wird im gesamten Bereich des herzustellenden Hohlraumes entfernt, wobei sich das Ätzmittel durch die Kanäle ausreichend schnell ausbreitet.