摘要 |
Es wird eine rotatorische Positionsmeßeinrichtung nach dem interferentiellen Wirkungsprinzip angegeben, bestehend aus einem Gehäuse, einer mit dem Gehäuse starr verbundenen Abtastbaueinheit, die eine Lichtquelle sowie mindestens ein Detektorelement umfaßt, einer flächig am schwingungsunempfindlichen Gehäuse angeordneten Reflexions-Abtastteilungsstruktur die gegenüberliegend von der Abtastbaueinheit angeordnet ist sowie einer Teilscheibe, die mit einer drehbaren Welle verbunden ist und eine radiale Tansmissions-Meßteilungsstruktur aufweist, wobei die Teilscheibe drehbar um ihre Symmetrieachse im Gehäuse angeordnet ist, so daß sich die Meßteilungsstruktur zwischen der Abtastbaueinheit und der Abtastteilungsstruktur befindet. Hierbei gelangen die von der Lichtquelle emittierten Strahlenbündel zunächst auf die Meßteilungsstruktur, wo eine Aufspaltung in gebeugte Teilstrahlenbündel verschiedener Ordnungen erfolgt. Die gebeugten Teilstahlenbündel treffen dann auf die Abtastteilungsstruktur auf, wo unter Reflexion eine erneute Beugung in verschiedene Beugungsordnungen erfolgt und eine Rückreflexion der gebeugten Teilstrahlenbündel in Richtung der Meßteilungsstruktur resultiert, wo die gebeugten Teilstrahlenbündel interferieren und über das mindestens eine Detektorelement erfaßt werden. <IMAGE>
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