发明名称 METHOD FOR PLANARIZING INSULATION LAYER COVERING CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010097949(A) 申请公布日期 2001.11.08
申请号 KR20000022470 申请日期 2000.04.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HWANG, HONG GYU
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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