发明名称 |
METHOD FOR PLANARIZING INSULATION LAYER COVERING CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20010097949(A) |
申请公布日期 |
2001.11.08 |
申请号 |
KR20000022470 |
申请日期 |
2000.04.27 |
申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
HWANG, HONG GYU |
分类号 |
H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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