| 发明名称 |
ETCH AND ASH PHOTORESIST REMOVAL PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1166342(A1) |
申请公布日期 |
2002.01.02 |
| 申请号 |
EP20000989595 |
申请日期 |
2000.12.29 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.;PHILIPS SEMICONDUCTORS INC. |
发明人 |
YEH, EDWARD |
| 分类号 |
H01L21/3065;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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