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发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF INTEGRATES CIRCUITS
摘要
申请公布号 RU2006986(C1) 申请公布日期 1994.01.30
申请号 SU19914932733 申请日期 1991.03.18
申请人 VSESOYUZNAYA ASSOTSIATSIYA INZHENERNYKH TSENTROV PO KOMPLEKSNOJ AVTOMATIZATSII 发明人 KOLOSOV VLADIMIR G;OPEJKIN VLADIMIR F;PYATYSHEV EVGENIJ N;FILIMONOV VLADIMIR V
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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