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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer strukturierten Metallschicht
摘要
申请公布号 DE50007463(D1) 申请公布日期 2004.09.23
申请号 DE20005007463 申请日期 2000.12.08
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BEITEL, DR.;SAENGER, DR.;HARTNER, WALTER
分类号 C23C14/02;C23C14/16;C23C14/58;H01L21/02;H01L21/321;(IPC1-7):C23C14/02 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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