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发明名称 Korpuskularstrahlgerät
摘要
申请公布号 DE19732093(B4) 申请公布日期 2008.09.25
申请号 DE19971032093 申请日期 1997.07.25
申请人 CARL ZEISS NTS GMBH 发明人 WEIMER, EUGEN
分类号 H01J37/248;H01J37/28;H01J37/04 主分类号 H01J37/248
代理机构 代理人
主权项
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