| 发明名称 | 透射电子显微镜微栅 | ||
| 摘要 | 明涉及一种透射电子显微镜微栅，包括依次层叠设置的第一金属层、奈米碳管层及第二金属层，其中，所述奈米碳管层夹持于所述第一金属层及第二金属层之间，且通过悬挂键与所述第一金属层及第二金属层键合，所述第一金属层包括复数第一通孔，所述第二金属层包括复数第二通孔，所述复数第二通孔与所述复数第一通孔一一对应分布于所述奈米碳管层相对的两个表面。 | ||
| 申请公布号 | TWI534851 | 申请公布日期 | 2016.05.21 |
| 申请号 | TW103123452 | 申请日期 | 2014.07.08 |
| 申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 魏洋;林晓阳;范守善 |
| 分类号 | H01J37/02(2006.01);H01J37/20(2006.01);H01J37/26(2006.01) | 主分类号 | H01J37/02(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种透射电子显微镜微栅，包括依次层叠设置的第一金属层、奈米碳管层及第二金属层，其改进在于，所述奈米碳管层夹持于所述第一金属层及第二金属层之间，所述奈米碳管层包括复数奈米碳管，该复数奈米碳管通过悬挂键与所述第一金属层及第二金属层键合，所述第一金属层具有复数第一通孔，所述第二金属层具有复数第二通孔，所述复数第二通孔与所述复数第一通孔一一对应分布于所述奈米碳管层相对的两个表面，且所述奈米碳管层相对的两个表面分别通过所述复数第一通孔和复数第二通孔部份暴露。 | ||
| 地址 | 新北市土城区自由街2号 | ||