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[과제] 배기 작용이 있는 관로와 관로를 효과적으로 연결하는 진공 펌프용 부품 및 시그반형 배기 기구, 및, 배기 작용이 있는 관로와 관로를 효과적으로 연결하는 복합형 진공 펌프를 제공한다. [해결 수단] 본 발명의 실시 형태의 진공 펌프는, 배기 작용이 있는 관로와 관로를 효과적으로 연결하는 진공 펌프용 부품 및 시그반형 배기 기구를 구비하는 복합형 진공 펌프이다. 고정 원판은, 산부와 곡부를 가지는 스파이럴 형상 홈(나선홈)이 형성되고, 회전 원통(회전체 원통부)에 대향하는 측인 내경부나, 외주측에 설치되는 고정 원통의 내경측의 양방 또는 어느 한쪽에, 돌기(돌출)부를 가진다. 또, 회전 원판은, 산부와 곡부를 가지는 스파이럴 형상 홈이 형성되고, 내주측에 설치되는 회전 원통의 외경부나, 상기 회전 원판이 스페이서에 대향하는 측인 외경부의 양방 또는 어느 한쪽에, 돌기(돌출)부를 가진다. |
