| 发明名称 |
光学素子及び当該光学素子に対する放射の影響を低減する手段を備えた光学コンポーネント |
| 摘要 |
光学コンポーネントが、光学素子（２７）の変位に対する放射の影響を低減する少なくとも１つの手段を備える。【選択図】図５ |
| 申请公布号 |
JP2016524184(A) |
申请公布日期 |
2016.08.12 |
| 申请号 |
JP20160514307 |
申请日期 |
2014.04.01 |
| 申请人 |
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー |
发明人 |
アードリアン スタイク;ヨハネス アイゼンメンガー |
| 分类号 |
G03F7/20;G02B19/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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