| 摘要 |
본 발명은 유기전계발광표시장치의 증착장치를 개시한다. 개시된 본 발명은, 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내의 하부에 위치하는 증착원; 상기 증착원으로부터 생성된 소스를 마스킹하는 마스크; 상기 마스크에 의해 통과된 상기 소스가 증착되는 타겟기판; 상기 진공 챔버 내의 상부에 위치하며 일면에 마그넷들이 배열된 제1플레이트; 및 상기 제1플레이트보다 하부에 위치하며 다수개의 홈들이 형성되어 있고, 일부 홈들은 상기 마그넷들이 삽입되고, 다른 홈들은 탄성부가 배치되어 있는 제2플레이트를 포함한다. 본 발명은 유기전계발광표시장치의 증착 장비 내에서 유기발광층을 증착할 때, 타겟기판의 처짐을 방지할 수 있는 효과가 있다. |
