| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Reinigungsverfahren und eine Reinigungsvorrichtung für Reinräume zur Reinigung von Oberflächen von Komponenten, die in Reinräumen gehandhabt werden, mit mindestens einer Fluidzuführleitung (1) und mindestens einer Fluiddüse (2), die mit der Fluidzuführleitung in Verbindung ist und mit der Reinigungsfluid auf die zu reinigende Oberfläche (12) geleitet werden kann, sowie mit einer Abdeckhaube (3), die um die mindestens eine Fluiddüse angeordnet ist und eine Reinigungsöffnung (11) umschließt, um einen Bereich der zu reinigenden Oberfläche zu überdecken, in dem durch das mit der Fluiddüse auf die zu reinigende Oberfläche abgegebene Reinigungsfluid Kontaminationen an der zu reinigenden Oberfläche losgelöst werden können, wobei die Abdeckhaube mit mindestens einer Absaugleitung (4) versehen ist, über die Reinigungsfluid und losgelöste Kontaminationen im Bereich der Abdeckhaube abgesaugt werden können, und wobei die Reinigungsvorrichtung so eingerichtet ist, dass das gesamte durch die mindestens eine Fluiddüse abgegebene Reinigungsfluid durch die mindestens eine Absaugleitung abgesaugt werden kann, so dass keine Kontaminationen den Bereich unterhalb der Abdeckhaube verlassen können. |
