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发明名称
摘要
申请公布号 NL6814919(A) 申请公布日期 1969.04.22
申请号 NL19680014919 申请日期 1968.10.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8222;H01L27/00;H01L27/04;H01L29/04;H01L29/73;(IPC1-7):H01L7/64;H01L19/00 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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