Vorrichtung zur Herstellung von Fotoschablonen fuer Halbleiteranordnungen,申请号DE19661522297-传众专利搜索

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发明名称	Vorrichtung zur Herstellung von Fotoschablonen fuer Halbleiteranordnungen
摘要
申请公布号	DE1522297(A1)	申请公布日期	1969.08.07
申请号	DE19661522297	申请日期	1966.02.09
申请人	VEB HALBLEITERWERK FRANKFURT/ODER	发明人	NOELTING,DIPL.-PHYS.WOLF-DIETER
分类号	G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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