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发明名称 VAPOR POLISHING TECHNIQUE
摘要
申请公布号 US3480491(A) 申请公布日期 1969.11.25
申请号 USD3480491 申请日期 1965.11.17
申请人 INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 ARNOLD REISMAN;HORST R. LEONHARDT
分类号 C23F3/04;H01L21/306;(IPC1-7):H01L7/00 主分类号 C23F3/04
代理机构 代理人
主权项
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